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低压条件下高灵敏度拉压式传感器的设计与应用
来源：上海自动化仪表有限公司作者：发表时间：2018-12-26 08:50:29【小中大】
如今，环境问题和气候变化是一个巨大的全球性问题，拉压式传感器在环境监测中发挥着至关重要的作用。这种传感器在各种研究项目中具有广泛的应用，并且还被气象站广泛使用?？梢约觳庾钗⑿⊙沽Ρ浠母咧柿康脱勾衅靼沧霸诓饬扛哐勾笃沟奈尴叩缣娇找侵?。类似地，这种拉压式传感器可以检测由于高度变化引起的低压变化。它们非常精密，即使在楼梯间，它们也可以根据高度变化读取压力变化的变化！上海自动化仪表有限公司拉压式传感器还可用于精确测量3D导航和空间定向中的低压变化。
不同类型的拉压式传感器
随着微机电系统（MEMS）的发展，市场上已经引入了不同型号的基于MEMS的低压传感器。根据它们使用的原理，压力传感器可以采用拉压式，谐振式，电容式等形式。在所有这些中，拉压式传感器是最受欢迎和广泛使用的。这是因为它们具有显着的优点，例如对压力变化的最低变化的高灵敏度，准确的读数，可重复性和出色的线性度。当器件暴露在环境中时，这些器件基于压敏电阻器低压传感器的电阻来记录压力。
拉压式传感器传感器配置
上海自动化仪表有限公司这种类型的传感器具有四个压电电阻器，方形膜和膜上的横梁。该梁包括三层，即硅层，铝层和隔离层。四个压电电阻器嵌入硅层中。
在所使用的四个压阻传感器中，两个垂直地位于膜的两侧。当膜暴露于增加的压力时，它们检测到压力的变化，因为它们的阻力增加。
另外两个压电电阻器与膜平行，它们的电阻随着压力的增加而减小。四个压电电阻通过电桥连接。
拉压式传感器的应用
除了广泛用于测量大气和高海拔的低压变化外，拉压式传感器还有其他几种应用。
这种低压传感器广泛用于医疗应用中，用于测量体内的超低血压波动。
它们还用于测量使用触摸技术或采用敏感E-skin技术设计的低压变化（特别是低于100 Pa）。
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